隨著社會經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展和科技水平的不斷提高，潔凈空調(diào)在社會各行業(yè)以及各領(lǐng)域的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大。在電子潔凈廠房中，潔凈等級從10萬級到100級，甚至更高，要求空調(diào)送風(fēng)換氣次數(shù)從十幾次到幾百次不等，是一個能耗很高的行業(yè)。就潔凈空調(diào)系統(tǒng)而言，新風(fēng)對產(chǎn)品質(zhì)量以及生產(chǎn)安全和環(huán)境衛(wèi)生，所起的作用不可小覷，因此應(yīng)當(dāng)加強(qiáng)新風(fēng)系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì)，以此來凈化空氣，提高空氣質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗之目的。

一、電子行業(yè)潔凈室特點(diǎn)

（1）溫濕度要求精度高。對于電子產(chǎn)品而言，其生產(chǎn)制造工藝對溫度以及濕度等環(huán)境因素的變化非常的敏感，在潔凈室的空氣參數(shù)應(yīng)當(dāng)按照規(guī)定進(jìn)行嚴(yán)格控制。

（2）換氣次數(shù)以及新風(fēng)量大。在生產(chǎn)和制造電子產(chǎn)品時，通常會用到很多的化學(xué)物品，而且會產(chǎn)生非常多的廢氣，應(yīng)當(dāng)從室內(nèi)排出。實(shí)踐中，為了能夠有效確保室內(nèi)正壓以及衛(wèi)生條件達(dá)標(biāo)，應(yīng)當(dāng)大量補(bǔ)充新風(fēng)。

（3）空調(diào)冷負(fù)荷大而且濕負(fù)荷小，所以熱濕比近似無窮大。在電子行業(yè)領(lǐng)域，潔凈室因工藝設(shè)備生產(chǎn)過程中發(fā)熱量較大，工作人員通常會穿著密封的防塵服。工藝生產(chǎn)環(huán)境下，為了能夠有效減少發(fā)生靜電現(xiàn)象，應(yīng)避免空氣過于干燥。由此設(shè)計(jì)過程中空調(diào)系統(tǒng)在處理室內(nèi)回風(fēng)時應(yīng)該盡可能避免是減濕過程。

二、新風(fēng)量的確定

（1） 人員衛(wèi)生所需的新鮮空氣量潔凈室內(nèi)的工作人員吸入氧氣呼出二氧化碳。在此過程中，若無良好的新風(fēng)環(huán)境，則必然會導(dǎo)致工作人員因缺氧而頭暈、煩燥，不利于工作和安全。所以空調(diào)凈化系統(tǒng)中滿足人員衛(wèi)生要求的新鮮空氣量不小于40m3/(h人）。

（2）排風(fēng)量電子潔凈廠房一般都伴有工藝需求的排風(fēng)，為了平衡這部分排至室外的空氣量，凈化系統(tǒng)需要補(bǔ)償相應(yīng)的新風(fēng)量。

（3）維持正壓所需新風(fēng)量為防止室外或相鄰的其他用途房間的空氣滲入空調(diào)凈化車間，干擾其潔凈度或溫、濕度，為了保證潔凈室一定正壓要求的空氣量將由室外新風(fēng)來補(bǔ)充，這部分新風(fēng)量計(jì)算主要有縫隙法及換氣次數(shù)法。

（4）滿足總風(fēng)量一定比例的新風(fēng)量根據(jù)實(shí)際項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)，考慮到潔凈空調(diào)系統(tǒng)中空調(diào)機(jī)組和送風(fēng)管道內(nèi)正壓較高，送風(fēng)管由于安裝施工原因，不可避免的會有或多或少的漏風(fēng)率，為了安全起見，特別是在醫(yī)藥等行業(yè)，新風(fēng)量的比例應(yīng)滿足非單向流潔凈室總風(fēng)量的10%～30%，單向流潔凈室總風(fēng)量的2%～4%。這時候如果潔凈室人員少，工藝排風(fēng)少，正壓也足夠，按比例計(jì)算的新風(fēng)量大于系統(tǒng)的需求時，就應(yīng)該増加潔凈空調(diào)的排風(fēng)量來作為應(yīng)對措施。

（5）潔凈空調(diào)系統(tǒng)中新風(fēng)量的確定潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取以下三項(xiàng)中的最大值：a.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和；b.保障供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3；c.滿足總風(fēng)量一定比例的新風(fēng)量。

三、新風(fēng)凈化及熱濕處理

對于面積大且潔凈度（百級或千級）要求較高的電子工業(yè)廠房來說，如果采用經(jīng)典的一次回風(fēng)空氣處理機(jī)組的形式，該系統(tǒng)風(fēng)管系統(tǒng)占用的空間，費(fèi)用較大，同時還要占用非常大的空調(diào)機(jī)房面積，往往工藝廠房無法滿足要求。在電子潔凈廠房中，大部分房間的室內(nèi)產(chǎn)濕量很小，而設(shè)備發(fā)熱量很大，室內(nèi)空氣熱濕比無窮大，在焓濕圖中為一條豎直的線；因而從投資、管理、節(jié)能等方面考慮，建議采用新風(fēng)集中處理與干表冷加風(fēng)機(jī)過濾單元相組合的方式。

新風(fēng)機(jī)組空氣處理過程：新風(fēng)經(jīng)過初效過濾后進(jìn)入表冷盤管，冷盤管降溫除濕將新風(fēng)處理到潔凈室露點(diǎn)溫度后進(jìn)入加熱盤管，然后進(jìn)入二次加熱盤管和加濕段，保證潔凈房空氣溫濕度恒定在設(shè)計(jì)要求范圍內(nèi)，最后由風(fēng)機(jī)將處理的新風(fēng)送到中效和高效送風(fēng)段，經(jīng)過風(fēng)管將空氣送到潔凈室的天花頂?shù)撵o壓箱中，和潔凈室的回風(fēng)混合，通過風(fēng)機(jī)過濾段單元送到潔凈室內(nèi)。

在冬季室外氣溫較低的北方地區(qū)新風(fēng)往往要預(yù)熱，不然與一次回風(fēng)直接混合的時候很有可能產(chǎn)生冷凝水；潔凈車間一般部有濕度要求，冬季處理過程往往需要加濕空氣，因此增大了加濕負(fù)荷。夏季新風(fēng)含濕量高，溫度也高，與回風(fēng)直接混合后，有可能需要多級多排的表冷器來處理，大大加大了空調(diào)機(jī)組表冷器負(fù)擔(dān)。然而新風(fēng)集中處理系統(tǒng)，減少了大量循環(huán)風(fēng)的輸送能耗，降低了空調(diào)箱的風(fēng)機(jī)壓頭，節(jié)省了空調(diào)房間面積，避免了能源的浪費(fèi)。新風(fēng)作為潔凈室控制的重要污染源，集中預(yù)處理可以強(qiáng)化新風(fēng)的過濾和便于管理，為潔凈室運(yùn)行提供更安全的保障。采用新風(fēng)集中處理方式中，新風(fēng)處理到室內(nèi)送風(fēng)露點(diǎn)，以滿足潔凈室的濕度要求。處理后新風(fēng)通過風(fēng)管送至吊頂靜壓箱內(nèi)。這樣使?jié)崈艨照{(diào)系統(tǒng)的濕度和溫度分別由新風(fēng)處理機(jī)組和干表冷盤管來負(fù)責(zé)，使溫度和濕度控制具有獨(dú)立性及可操作性，尤其是在潔凈室內(nèi)新風(fēng)量變化時其優(yōu)越性體現(xiàn)得更為明顯。

四、新風(fēng)節(jié)能運(yùn)行控制方案

（1）新風(fēng)機(jī)組采用變頻風(fēng)機(jī)，由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)管上均設(shè)置電動調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動調(diào)節(jié)閥的開度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化，電動調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)新風(fēng)機(jī)組的風(fēng)機(jī)頻率，來控制新風(fēng)機(jī)組的總送風(fēng)量。

（2）控制新風(fēng)機(jī)組送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)，使其與潔凈房間的送風(fēng)露點(diǎn)相同，這樣就可以保證凈化車間的濕度要求。根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值來調(diào)節(jié)加濕器的電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度；露點(diǎn)溫度“DPT”由檢查室內(nèi)濕度敏感元件“HE”連續(xù)整定。

（3）凈化生產(chǎn)車間的溫度是由干表冷盤管保證的，經(jīng)新風(fēng)處理機(jī)處理后的空氣狀態(tài)為潔凈房間的送風(fēng)露點(diǎn)，新回風(fēng)混合點(diǎn)一定在該潔凈房間的熱濕比線上，根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)干盤管上的電動二通閥的開度，控制加熱和制冷量，實(shí)現(xiàn)室內(nèi)溫度控制。一般情況下，在電子潔凈廠房中，大部分潔凈室溫濕度要求基本都相同而且也允許一定范圍的波動，這些車間都可以使用新風(fēng)集中處理系統(tǒng)。但在某些車間具有很大的室內(nèi)產(chǎn)濕量，其熱濕比線并不是一條豎直的直線，采用新風(fēng)集中處理系統(tǒng)就無法滿足要求，應(yīng)該根據(jù)實(shí)際需求考慮其它合理空氣處理方式。

面積大且潔凈度要求高的潔凈室，宜采用新風(fēng)集中處理方式，可以節(jié)省空調(diào)機(jī)房面積，減少空氣輸送能耗，節(jié)省建筑空間高度，溫濕度獨(dú)立控制，系統(tǒng)控制靈活。潔凈空調(diào)機(jī)組由于高效過濾器初阻力和終阻力差距較大，對于潔凈室大功率的電機(jī)設(shè)備，宜采用變頻控制技術(shù)，減少能耗。新風(fēng)系統(tǒng)的空氣過濾宜采用初、中、高效三級過濾，延長風(fēng)機(jī)過濾單元高效過濾器的使用壽命。采用將新風(fēng)處理到室內(nèi)露點(diǎn)溫度的空氣處理形式。減少因?qū)κ覂?nèi)進(jìn)行溫度補(bǔ)償兒造成的不必要的能源浪費(fèi)。在電子潔凈廠房空調(diào)設(shè)計(jì)中，正確的新風(fēng)量的計(jì)算，有效的過濾及合理的熱濕處理方案是潔凈車間能否成功的重要因素之一；不同建筑布局，不同工藝需求就應(yīng)該要有不同的潔凈空調(diào)方案；新風(fēng)集中處理系統(tǒng)在節(jié)能，控制，管理方面有諸多優(yōu)勢，建議設(shè)計(jì)時優(yōu)先考慮。

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